箱體1一側通過重型鉸鏈8鉸接有機械式密封門12，所述機械式密封門12設置有手柄來輔助開閉，且機械式密封門設置有壓力感應裝置，若門未關緊無法加壓，壓力非常壓時無法開門。

34.所述抽氣機構2包括真空泵21和緩沖罐22，所述真空泵21和所述緩沖罐22安裝于所述箱體1內部，所述真空泵21依次與所述緩沖罐22和處理室11內部管路連接；當需要對箱體內抽真空時，真空泵工作在緩沖罐的穩流作用下對處理室制造真空環境。

日本NOP液壓馬達ORB-G-050

日本NOP液壓馬達ORB-G-070

日本NOP液壓馬達ORB-G-100

日本NOP液壓馬達ORB-G-120

日本NOP液壓馬達ORB-G-130

日本NOP液壓馬達ORB-G-160

日本NOP液壓馬達ORB-G-170

日本NOP液壓馬達ORB-G-190

日本NOP液壓馬達ORB-G-205

日本NOP液壓馬達ORB-G-240

日本NOP液壓馬達ORB-G-280

日本NOP液壓馬達ORB-G-310

日本NOP液壓馬達ORB-G-380

日本NOP液壓馬達ORB-G-410

高粘度NOP油泵TOP-GPL-150VB

高粘度NOP油泵TOP-GPL-200VB

高粘度NOP油泵TOP-GPL-250VB

NOP油泵TOP-N320H中流量泵單體

NOP油泵TOP-N330H中流量泵單體

NOP油泵TOP-N340H中流量泵單體

NOP油泵TOP-N350H中流量泵單體

中流量通用型NOP油泵TOP-N320FAM(無溢流閥)

中流量通用型NOP油泵TOP-N330FAMVB（有溢流閥）

中流量通用型NOP油泵TOP-N340FBM（無溢流閥）

日本NOP小流量雙向擺線齒輪泵TOP-1RA-100

日本NOP小流量雙向擺線齒輪泵TOP-1RA-200

日本NOP小流量雙向擺線齒輪泵TOP-1RA-300

日本NOP齒輪泵TOP-2RA-4C

日本NOP齒輪泵TOP-2RA-8C

日本NOP齒輪泵TOP-2RA-12C

.所述加壓充氣機構3包括空壓機31、氮氣機(圖中未示出)和壓力調節閥(圖中未示出)，所述空壓機31安裝于所述箱體1內部，所述氮氣機設置于所述箱體1一側，所述空壓機31的進氣口連接有電控三通閥，所述電控三通閥的一個通口與所述氮氣機管路連接，另一個通口與所述外接環境相連通，所述壓力調節閥一端與所述空壓機31的出氣口管路連接，另一端與所述處理室11內部相連通；空壓機用于對箱體內部加壓，當空壓機工作時通過電控三通閥將空氣或者氮氣吸入并吹入箱體內部，通過壓力調節閥對壓力值進行調整。